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替代性研发

Hf金属基前驱体

Hf金属基前驱体

英文名称:Hf Precursor
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主要应用:Hi-k材料
在星空娱乐xkgame先进制程中主要用于高介电常数材料和金属薄膜的原子层沉积与化学气相沉积工艺中应用。

 

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